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전기전자공학과의 새로운 소식들 입니다
한해욱 교수팀 나노미터 해상도 가진 나노현미경 개발

나노미터 해상도를 가진 THz 근접장 나노현미경 개발
한해욱(전자과) 교수팀…향후 관련기업 기술이전 예정
POSTECH 전자전기공학과 한해욱 교수팀은 이러한 난제를 해결하기 위해서 지난 수 년간 많은 노력을 기울여 온 끝에 나노구조의 광대역 분광 특성을 나노미터 수준의 해상도를 가지고 볼 수 있는 THz 근접장 나노현미경을 세계 최초로 실현하여, 나노소자 및 나노재료 분야의 권위지인 ACS Nano Letters에 결과를 발표하였다.

그 동안 이 문제를 해결하지 못한 근본적인 이유는 THz파가 가진 300 μm 정도의 긴 파장으로 인한 엄청난 회절현상 때문이다. 따라서 이러한 회절한계를 극복하기 위해서 기존 기술을 사용할 수 없었기에, 한해욱 교수팀은 이미 해외특허 출원을 마친 독창적인 기술을 개발하여 파장의 1/3300 정도에 해당하는 90 nm의 해상도가 가능하고 동시에 0.1-2 THz 대역의 THz 분광정보를 얻을 수 있는 초광대역 THz나노이미징 기술을 개발하였다. 이는 현재 상용화된 적외선 근접장 현미경이 파장의 1/10 정도의 해상도를 가진 것과 비교하면 실로 엄청난 기술이라는 것을 알 수 있다.
연구책임자인 POSTECH 한해욱 교수는 “이번 연구성과는 단지 시작일뿐이고 앞으로 다양한 분야에서 나노재료 및 나노소자 연구의 진전에 결정적인 기여를 할 것이며, 조만간 해외 유명 연구진과의 공동연구와 관련 기업체와의 기술이전 계약을 추진할 예정”이라며 기대감을 밝혔다.
